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Optimization of fabrication process for high aspect ratio metallic comb actuator using UV LIGA process : UV LIGA 공정을 이용한 고 형상비 금속 머리빗 액츄에이터의 제작 공정 최적화
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 김용권 | - |
| dc.contributor.author | 장현기 | - |
| dc.date.accessioned | 2010-01-25 | - |
| dc.date.available | 2010-01-25 | - |
| dc.date.copyright | 1999. | - |
| dc.date.issued | 1999 | - |
| dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000072970 | eng |
| dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/43120 | - |
| dc.description | Thesis (master`s)--서울대학교 대학원 :전기공학부,1999. | en |
| dc.format.extent | iii, 40 p. | en |
| dc.language.iso | en | en |
| dc.publisher | 서울대학교 대학원 | en |
| dc.title | Optimization of fabrication process for high aspect ratio metallic comb actuator using UV LIGA process | en |
| dc.title.alternative | UV LIGA 공정을 이용한 고 형상비 금속 머리빗 액츄에이터의 제작 공정 최적화 | - |
| dc.type | Thesis | - |
| dc.contributor.department | 전기공학부 | - |
| dc.description.degree | Master | en |
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