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Etch-back 공정을 이용한 다결정 실리콘 양자점 형성과 이를 이용한 단전자 트랜지스터
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- Authors
- Advisor
- 박병국
- Issue Date
- 2006
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- 양자점 ; quantum dot ; 단전자트랜지스터 ; etch-back process ; SET
- Description
- 학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :협동과정 나노과학기술전공, 2006.
- Language
- Korean
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000047278
https://hdl.handle.net/10371/43551
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