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Plasma treatment effect on multi-walled carbon nanotube growth in plasma enhanced chemical vapor deposition : 플라즈마 화학기상증착법을 이용한 다중벽 탄소나노튜브 합성에서 플라즈마 처리 효과에 관한 연구
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- Authors
- Advisor
- 김곤호
- Issue Date
- 2009
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- 탄소나노튜브 ; carbon nanotube ; 다중벽 탄소나노튜브 ; CNT ; 플라즈마 전처리 ; multi-walled carbon nanotube ; 플라즈마 화학기상증착법 ; MWNT ; 탐침 진단 ; plasma pre-treatment ; 마이크로웨이브 플라즈마 ; plasma enhanced chemical vapor deposition ; 전자사이클로트론공명 플라즈마 ; PECVD ; 이온 조사 ; probe diagnostic ; 스퍼터링 ; microwave plasma ; 수직 배향성 ; electron cyclotron resonance plasma ; ECR ; ion irradiation ; sputtering ; vertical alignment
- Description
- Thesis(masters) --서울대학교 대학원 :에너지시스템공학부,2009.2.
- Language
- English
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000037204
https://hdl.handle.net/10371/43588
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