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Design and Characterization of a Microwave Plasma Source using a Rectangular Resonant Cavity : 사각 공진 공동을 이용한 마이크로파 플라즈마 원의 설계 및 특성연구
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 황용석 | - |
| dc.contributor.author | 김현태 | - |
| dc.date.accessioned | 2010-01-25T07:40:20Z | - |
| dc.date.available | 2010-01-25T07:40:20Z | - |
| dc.date.copyright | 2009. | - |
| dc.date.issued | 2009 | - |
| dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000037192 | eng |
| dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/43602 | - |
| dc.description | 학위논문(석사) --서울대학교 대학원 :에너지시스템공학부, 2009.2. | en |
| dc.format.extent | vii, 47 leaves | en |
| dc.language.iso | en | en |
| dc.publisher | 서울대학교 대학원 | en |
| dc.subject | 마이크로파 플라즈마 | en |
| dc.subject | microwave plasma | en |
| dc.subject | 공명 | en |
| dc.subject | resonant cavity | en |
| dc.subject | 공진 | en |
| dc.subject | resonance | en |
| dc.subject | 공동 | en |
| dc.subject | cavity length | en |
| dc.subject | 공진파괴 | en |
| dc.subject | 공동길이 | en |
| dc.title | Design and Characterization of a Microwave Plasma Source using a Rectangular Resonant Cavity | en |
| dc.title.alternative | 사각 공진 공동을 이용한 마이크로파 플라즈마 원의 설계 및 특성연구 | en |
| dc.type | Thesis | - |
| dc.contributor.department | 에너지시스템공학부 | - |
| dc.description.degree | Master | en |
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