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열플라즈마를 이용한 비정질 실리콘 박막의 결정화 실험
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 홍상희 | - |
| dc.contributor.author | 이현석 | - |
| dc.date.accessioned | 2010-01-25T07:40:55Z | - |
| dc.date.available | 2010-01-25T07:40:55Z | - |
| dc.date.copyright | 2008. | - |
| dc.date.issued | 2008 | - |
| dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000042305 | kog |
| dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/43615 | - |
| dc.description | 학위논문(석사) --서울대학교 대학원 :에너지시스템공학부,2008.8. | ko |
| dc.format.extent | vi, 48 장 | ko |
| dc.language.iso | ko | ko |
| dc.publisher | 서울대학교 대학원 | ko |
| dc.subject | 열플라즈마 | ko |
| dc.subject | thermal plasma | ko |
| dc.subject | 실리콘 박막 | ko |
| dc.subject | silicon thin film | ko |
| dc.subject | 급속열처리법 | ko |
| dc.subject | poly-crystalline | ko |
| dc.subject | 다결정 | ko |
| dc.subject | crystallization | ko |
| dc.subject | 결정화 | ko |
| dc.subject | anode nozzle | ko |
| dc.subject | 결정화 공정조건 | ko |
| dc.title | 열플라즈마를 이용한 비정질 실리콘 박막의 결정화 실험 | ko |
| dc.type | Thesis | - |
| dc.contributor.department | 에너지시스템공학부 | - |
| dc.description.degree | Master | ko |
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