Molecular dynamics studies on deformation of polymer resist in thermal nano imprint lithotraphy

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Molecular dynamics studies on deformation of polymer resist in thermal nano imprint lithotraphy : 분자동역학을 이용한 나노 임프린트 리소그래피에서 폴리머 레지스트의 변형에 관한 연구

DC Field	Value	Language
dc.contributor.advisor	이우일	-
dc.contributor.author	우영석	-
dc.date.accessioned	2010-01-25T07:56:25Z	-
dc.date.available	2010-01-25T07:56:25Z	-
dc.date.copyright	2008.	-
dc.date.issued	2008	-
dc.identifier.uri	http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000039506	eng
dc.identifier.uri	https://hdl.handle.net/10371/43663	-
dc.description	Thesis(doctors) --서울대학교 대학원 :기계항공공학부, 2008.2.	en
dc.format.extent	xvii, 166 p.	en
dc.language.iso	en	en
dc.publisher	서울대학교 대학원	en
dc.subject	분자동역학	en
dc.subject	molecular dynamics simulation (MDS)	en
dc.subject	나노 임프린트 리소그래피	en
dc.subject	nano imprint lithography (NIL)	en
dc.subject	나노스케일	en
dc.subject	nanoscale	en
dc.subject	패터닝	en
dc.subject	patterning	en
dc.subject	밀도	en
dc.subject	polymer resist	en
dc.subject	변형	en
dc.subject	density	en
dc.subject	deformation	en
dc.title	Molecular dynamics studies on deformation of polymer resist in thermal nano imprint lithotraphy	en
dc.title.alternative	분자동역학을 이용한 나노 임프린트 리소그래피에서 폴리머 레지스트의 변형에 관한 연구	en
dc.type	Thesis	-
dc.contributor.department	기계항공공학부	-
dc.description.degree	Doctor	en

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