MEMS-Based micro turbine spiral groove gas bearing development

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MEMS-Based micro turbine spiral groove gas bearing development : MEMS 기술을 이용한 마이크로 터빈용 나선형 그루브 가스 베어링 개발

DC Field	Value	Language
dc.contributor.advisor	송성진	-
dc.contributor.author	안세호	-
dc.date.accessioned	2010-01-25T08:33:26Z	-
dc.date.available	2010-01-25T08:33:26Z	-
dc.date.copyright	2006.	-
dc.date.issued	2006	-
dc.identifier.uri	http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000049258	eng
dc.identifier.uri	https://hdl.handle.net/10371/43725	-
dc.description	Thesis(master`s) --서울대학교 대학원 :기계항공공학부,2006.	en
dc.format.extent	viii, 52 p.	en
dc.language.iso	en	en
dc.publisher	서울대학교 대학원	en
dc.subject	마이크로 터빈	en
dc.subject	Micro turbine	en
dc.subject	마이크로 파워 시스템	en
dc.subject	Micro power system	en
dc.subject	나선형 그루브 가스 베어링	en
dc.subject	Spiral groove gas bearing	en
dc.subject	고형상비	en
dc.subject	High aspect ratio	en
dc.subject	DRIE 공정	en
dc.subject	DRIE	en
dc.subject	금속 건식 식각법	en
dc.subject	Dry metal etching method	en
dc.title	MEMS-Based micro turbine spiral groove gas bearing development	en
dc.title.alternative	MEMS 기술을 이용한 마이크로 터빈용 나선형 그루브 가스 베어링 개발	en
dc.type	Thesis	-
dc.contributor.department	기계항공공학부	-
dc.description.degree	Master	en

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