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나노 임프린트 공정에서의 polymer 유동 해석
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 이우일 | - |
| dc.contributor.author | 강진희 | - |
| dc.date.accessioned | 2010-01-26T03:51:55Z | - |
| dc.date.available | 2010-01-26T03:51:55Z | - |
| dc.date.copyright | 2006. | - |
| dc.date.issued | 2006 | - |
| dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000047538 | kog |
| dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/44466 | - |
| dc.description | 학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :기계항공공학부,2006. | ko |
| dc.format.extent | viii, 43 장 | ko |
| dc.language.iso | ko | ko |
| dc.publisher | 서울대학교 대학원 | ko |
| dc.subject | 나노 임프린트 리소그래피(NIL) | ko |
| dc.subject | nano-imprinting lithography | ko |
| dc.subject | 압력 효과 | ko |
| dc.subject | pressure effect | ko |
| dc.subject | 스탬프 구조물의 형상 | ko |
| dc.subject | geometry of stamp patterns | ko |
| dc.subject | PMMA | ko |
| dc.subject | PMMA | ko |
| dc.subject | 핫엠포싱(hot-embossing) | ko |
| dc.subject | hot-embossing | ko |
| dc.subject | polymer 유동 | ko |
| dc.subject | polymer flow | ko |
| dc.title | 나노 임프린트 공정에서의 polymer 유동 해석 | ko |
| dc.type | Thesis | - |
| dc.contributor.department | 기계항공공학부 | - |
| dc.description.degree | Master | ko |
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