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(A)Slim type microvalve driven by PZT films : 압전박막으로 구동되는 초박형 마이크로밸브
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- Authors
- Advisor
- 김종원
- Issue Date
- 2005
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- 마이크로 능동형 냉각기 ; Micro active cooler ; 마이크로 밸브 ; Microvalve ; 마이크로 캔틸레버 ; Micro cantilever ; 압전박막 ; PZT film ; 마이크로 유체 시스템 ; Micro fluidic system
- Description
- Thesis(doctoral)--서울대학교 대학원 :기계항공공학부,2005.
- Language
- English
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000050070
https://hdl.handle.net/10371/44577
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