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경사진 바닥 전극을 가진 2자유도 스캐닝 미러의 구동 특성에 관한 연구 : Research for the 2D Scanning Micromirror with the Sloped Electrode
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- Authors
- Advisor
- 김용권
- Issue Date
- 2009
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- 2-자유도 ; 2-DOF ; 스캐닝미러 ; Scanning Micromirror ; 경사진 바닥전극 ; Sloped electrode ; 도금 ; Electroplating
- Description
- 학위논문(석사) --서울대학교 대학원 :전기. 컴퓨터공학부, 2009.2.
- Language
- Korean
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000037099
https://hdl.handle.net/10371/44705
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