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탄성힌지와 압전소자 구동기를 이용한 초정밀 6자유도 스테이지 개발에 관한 연구 : Development of the 6 DOFs ultra precision positioning system using the PZT actuators and elastic hinges
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- Authors
- Advisor
- 박희재
- Issue Date
- 2003
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- 압전소자 구동기 ; PZT actuator ; 탄성힌지 ; Elastic hinge ; 6자유도 스테이지 ; Flexure ; 초정밀 위치제어 ; Ultra precision ; 간섭운동 ; 6 DOF ; 나노미터 ; Micro stage ; Nanometer ; Couple motion ; Position control
- Description
- 학위논문(박사)--서울대학교 대학원 :기계항공공학부,2003.
- Language
- Korean
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000058428
https://hdl.handle.net/10371/44858
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