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Metalpolymer bilayer transfer by rigiflex lithography : 리지플렉스 리소그래피를 이용한 금속고분자 이중층 박막 전송
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- Authors
- Advisor
- 이홍희
- Issue Date
- 2005
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- 접착 ; adhesion ; 표면처리 ; patterning ; 식각선택비 ; etching selectivity ; 고종횡비 ; high aspect ratio ; 역임프린트 리소그래피 ; reversal imprint lithography ; 리지플렉스 리소그래피 ; flexible mold ; 다단 복제 ; rigiflex lithography ; 연속 릴공정 ; step and repeat ; 몰드 휨현상 ; reel-to-reel ; mold bending
- Description
- Thesis(doctoral)--서울대학교 대학원 :응용화학부,2005.
- Language
- English
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000050096
https://hdl.handle.net/10371/44909
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