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순차적인 사슬형태의 SVDD분류기를 이용한 반도체 공정 이상 진단
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 최진영 | - |
| dc.contributor.author | 송동성 | - |
| dc.date.accessioned | 2010-01-26T23:08:53Z | - |
| dc.date.available | 2010-01-26T23:08:53Z | - |
| dc.date.copyright | 2008. | - |
| dc.date.issued | 2008 | - |
| dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000041284 | kog |
| dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/45133 | - |
| dc.description | 학위논문(석사) --서울대학교 대학원 :전기. 컴퓨터공학부,2008.2 | ko |
| dc.format.extent | viii, 56 장 | ko |
| dc.language.iso | ko | ko |
| dc.publisher | 서울대학교 대학원 | ko |
| dc.subject | 공정이상 검출 | ko |
| dc.subject | Fault detection | ko |
| dc.subject | 패턴 인식 | ko |
| dc.subject | pattern recognition | ko |
| dc.subject | 단일 클래스 문제 | ko |
| dc.subject | one class classifier | ko |
| dc.subject | SVDD | ko |
| dc.subject | support vector data description | ko |
| dc.title | 순차적인 사슬형태의 SVDD분류기를 이용한 반도체 공정 이상 진단 | ko |
| dc.type | Thesis | - |
| dc.contributor.department | 전기. 컴퓨터공학부 | - |
| dc.description.degree | Master | ko |
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