Publications
Detailed Information
Dielectric and optical properties of nanoporous organosilicate thin films : 나노기공을 함유한 유기 실리케이트 박막의 유전 및 광학 특성에 관한 연구
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 차국헌 | - |
| dc.contributor.author | 김수한 | - |
| dc.date.accessioned | 2010-01-27 | - |
| dc.date.available | 2010-01-27 | - |
| dc.date.copyright | 2007. | - |
| dc.date.issued | 2007 | - |
| dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000044802 | eng |
| dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/45301 | - |
| dc.description | 학위논문(박사) --서울대학교 대학원 :응용화학부,2007. | en |
| dc.format.extent | xv, 140 장 | en |
| dc.language.iso | en | en |
| dc.publisher | 서울대학교 대학원 | en |
| dc.subject | 나노기공 | en |
| dc.subject | Low-k | en |
| dc.subject | 유기실리케이트 | en |
| dc.subject | Plasma treatement | en |
| dc.subject | 저유전 물질 | en |
| dc.subject | Methylsilsesquioxane | en |
| dc.subject | 반사방지막 | en |
| dc.subject | Nanopores | en |
| dc.subject | 나노인덴터 | en |
| dc.subject | Depth-sensing indentation | en |
| dc.subject | 소각중성자산란 | en |
| dc.subject | Antireflective coating | en |
| dc.title | Dielectric and optical properties of nanoporous organosilicate thin films | en |
| dc.title.alternative | 나노기공을 함유한 유기 실리케이트 박막의 유전 및 광학 특성에 관한 연구 | en |
| dc.type | Thesis | - |
| dc.contributor.department | 응용화학부 | - |
| dc.description.degree | Doctor | en |
- Appears in Collections:
- Files in This Item:
- There are no files associated with this item.
Item View & Download Count
Items in S-Space are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.