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Phosphorus implantation effects during the growth of diamond on field emission : 다이아몬드의 성장 중 인의 이온 주입이 전계 방출에 미치는 영향

DC Field Value Language
dc.contributor.advisor이종덕-
dc.contributor.author조의식-
dc.date.accessioned2010-01-27-
dc.date.available2010-01-27-
dc.date.copyright2004.-
dc.date.issued2004-
dc.identifier.urihttp://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000055353eng
dc.identifier.urihttps://hdl.handle.net/10371/45476-
dc.descriptionThesis (doctoral)--서울대학교 대학원 :전기·컴퓨터공학부,2004.en
dc.format.extentii, 122 p.en
dc.language.isoenen
dc.publisher서울대학교 대학원en
dc.subject인 이온en
dc.subjectPhosphorus ionsen
dc.subject이온 주입en
dc.subjectImplantationen
dc.subject마이크로 플라즈마 화학 기상 증착en
dc.subjectMicro plasma chemical vapor deposition (mpcvd)en
dc.subject이차이온 질량 분석en
dc.subjectSecondary ions mass spectrometry(sims)en
dc.subject결함en
dc.subjectDefectsen
dc.subject실리콘-다이아몬드 계면en
dc.subjectSi-diamond interfaceen
dc.subject작은 그레인en
dc.subjectSmall grainen
dc.subject전계 방출 소자en
dc.subjectField emitter arrays(feas)en
dc.subject전이 몰드 공정en
dc.subjectTransfer mold techniqueen
dc.subject이방성 전도 필름en
dc.subjectAnisotropic conductive film (acf)en
dc.subject몰리브덴-다이아몬드 계면en
dc.subjectMo-diamond interfaceen
dc.titlePhosphorus implantation effects during the growth of diamond on field emissionen
dc.title.alternative다이아몬드의 성장 중 인의 이온 주입이 전계 방출에 미치는 영향en
dc.typeThesis-
dc.contributor.department전기·컴퓨터공학부-
dc.description.degreeDoctoren
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