Study on mechanical properties of alumium thin film in micro-bridge structure

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Study on mechanical properties of alumium thin film in micro-bridge structure : 마이크로 다리를 이용한 알루미늄 박막의 기계적 특성 연구

DC Field	Value	Language
dc.contributor.advisor	차국린	-
dc.contributor.author	김성수	-
dc.date.accessioned	2010-01-28T09:17:03Z	-
dc.date.available	2010-01-28T09:17:03Z	-
dc.date.copyright	2006.	-
dc.date.issued	2006	-
dc.identifier.uri	https://hdl.handle.net/10371/46417	-
dc.description	Thesis(doctor`s) --서울대학교 대학원 :물리학부,2006.	en
dc.format.extent	viii, 100 p.	en
dc.language.iso	en	en
dc.publisher	서울대학교 대학원	en
dc.subject	마이크로 공진기	en
dc.subject	micro-resonator	en
dc.subject	마이크로 다리	en
dc.subject	micro-bridge	en
dc.subject	MEMS	en
dc.subject	microelectromechanical system (MEMS)	en
dc.subject	기계적 성질	en
dc.subject	mechanical property	en
dc.subject	알루미늄 박막	en
dc.subject	aluminum thin film	en
dc.subject	내부 스트레스	en
dc.subject	internal stress	en
dc.subject	열적 스트레스	en
dc.subject	thermal stress	en
dc.subject	비선형 진동	en
dc.subject	nonlinear oscillation	en
dc.title	Study on mechanical properties of alumium thin film in micro-bridge structure	en
dc.title.alternative	마이크로 다리를 이용한 알루미늄 박막의 기계적 특성 연구	en
dc.type	Thesis	-
dc.contributor.department	물리학부	-
dc.description.degree	Doctor	en

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