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초정밀 위치결정용 마이크로 병렬기구 플랫폼의 미세 구동 시스템 제어 : (A)Fine actuation system control for the micro positioning parallel mechanism platform
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- Authors
- Advisor
- 김종원
- Issue Date
- 2007
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- 초정밀 제어 ; precision control ; 마이크로 병렬기구 ; micro parallel mechanism ; 동역학 모델링 ; dynamic modeling ; 시스템 식별 ; system identification ; 이중 스테이지 구동 시스템 ; dual stage actuating system
- Description
- 학위논문(석사) --서울대학교 대학원 :기계항공공학부,2007.
- Language
- Korean
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000043760
https://hdl.handle.net/10371/48242
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