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College of Engineering/Engineering Practice School (공과대학/대학원)
Dept. of Electrical and Computer Engineering (전기·정보공학부)
Theses (Ph.D. / Sc.D._전기·정보공학부)
Nanoscale tri-gate CMOSFET architecture on Silicon-On-ONO (SOONO) substrate
SOONO 기판에 형성된 나노 크기의 삼중게이트 CMOSFET 구조
- Authors
- 홍성인
- Advisor
- 박병국
- Issue Date
- 2007
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- 상보형금속산화막반도체소자; CMOS; 초고집적; VLSI; 금속산화막반도체전계효과트랜지스터; MOSFET; 삼중게이트; tri-gate; 산화막-질화막-산화막 위의 실리콘; silicon-on-ONO; 절연막 위의 실리콘; SOONO; 금속게이트; SOI; 얇은측벽; TiN gate; 짧은채널효과; metal gate; 축소화; thin spacer; short channel effect; scale-down
- Description
- 학위논문(박사) --서울대학교 대학원 :전기. 컴퓨터공학부,2007.
- Language
- English
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000042983
http://hdl.handle.net/10371/48527
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