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(A)Study on performance improvement and reliability of poly-Si TFT fabricated by excimer laser crystallization : 레이저 結晶化를 이용한 多結晶 실리콘 薄膜 트랜지스터의 特性 向上 및 信賴度에 관한 硏究
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- Authors
- Advisor
- 한민구
- Issue Date
- 2006
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- polycrystalline silicon thin film transistor (poly-Si TFT) ; 다결정 실리콘 박막 트랜지스터 ; excimer laser annealing (ELA) ; 엑시머 레이저 어닐링 ; grain microstructure ; 그레인 미세 구조 ; short channel ; 전계 효과 이동도 ; reliability ; 열반송자 ; 자기 가열 효과 ; holes trapping at backside interface ; self-heating effect
- Description
- Thesis(doctoral)--서울대학교 대학원 :전기. 컴퓨터공학부,2006.
- Language
- English
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000048780
https://hdl.handle.net/10371/48532
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