(A)Laterally robust MEMS probe card for fine pitch test using a new cantilever moving scheme

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(A)Laterally robust MEMS probe card for fine pitch test using a new cantilever moving scheme : 새로운 외팔보 동작 형태를 이용한 미세피치 측정을 위한 강건한 초소형 프로브 카드

DC Field	Value	Language
dc.contributor.advisor	전국진	-
dc.contributor.author	김봉환	-
dc.date.accessioned	2010-02-02T16:07:31Z	-
dc.date.available	2010-02-02T16:07:31Z	-
dc.date.copyright	2005.	-
dc.date.issued	2005	-
dc.identifier.uri	http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000050113	eng
dc.identifier.uri	https://hdl.handle.net/10371/48900	-
dc.description	Thesis(doctoral)--서울대학교 대학원 :전기컴퓨터공학부,2005.	en
dc.format.extent	vii, 111 leaves	en
dc.language.iso	en	en
dc.publisher	서울대학교 대학원	en
dc.subject	멤즈 프로브 카드	en
dc.subject	MEMS probe card	en
dc.subject	접촉저항	en
dc.subject	contact resistance	en
dc.subject	접촉힘	en
dc.subject	contact force	en
dc.subject	누설전류	en
dc.subject	wear	en
dc.subject	평탄도	en
dc.title	(A)Laterally robust MEMS probe card for fine pitch test using a new cantilever moving scheme	en
dc.title.alternative	새로운 외팔보 동작 형태를 이용한 미세피치 측정을 위한 강건한 초소형 프로브 카드	en
dc.type	Thesis	-
dc.contributor.department	전기컴퓨터공학부	-
dc.description.degree	Doctor	en

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