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전자회전공명과 마이크로 웨이브 플라즈마 화학기상증착법을 이용한 (100) 실리콘 위에서의 다이아몬드성 탄소 박막 및 고배향성 다이아몬드 박막 성장 기구에 관한 연구 : A Study on the growth mechanism of diamond-like carbon film and highly oriented diamond film on (100) silicon by electron cyclotron resonance and microwave plasma enhanced chemical vapor deposition
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- Authors
- Advisor
- 김기범
- Issue Date
- 1997
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- 전자회전공명 플라즈마 ; 다이아몬드성 탄소 박막 ; Langmuir 탐침 ; 이온 에너지 분석기 ; 이온 충돌 에너지
- Description
- 학위논문(박사)--서울대학교 대학원 :금속공학과,1997.
- Language
- Korean
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000079629
https://hdl.handle.net/10371/50853
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