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알루미늄 박막의 금속 유기 화합물 화학증착법에 의한 평탄화 금속 배선 개발에 관한 연구 : A Study on the development of planarized metalization by metalorganic chemical vapor deposition of aluminum thin films
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 주승기 | - |
| dc.contributor.author | 김병윤 | - |
| dc.date.accessioned | 2010-02-05T06:43:40Z | - |
| dc.date.available | 2010-02-05T06:43:40Z | - |
| dc.date.copyright | 1997. | - |
| dc.date.issued | 1997 | - |
| dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000079017 | kog |
| dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/50859 | - |
| dc.description | 학위논문(박사)--서울대학교 대학원 :금속공학과,1997. | ko |
| dc.format.extent | xi, 101 장 | ko |
| dc.language.iso | ko | ko |
| dc.publisher | 서울대학교 대학원 | ko |
| dc.subject | plasma | ko |
| dc.subject | 플라즈마 | ko |
| dc.subject | CVD | ko |
| dc.subject | 화학증착 | ko |
| dc.subject | aluminum | ko |
| dc.subject | 알루미늄 | ko |
| dc.subject | DMEAA | ko |
| dc.subject | 초고집적회로 | ko |
| dc.subject | ULSI | ko |
| dc.subject | 금속선 | ko |
| dc.title | 알루미늄 박막의 금속 유기 화합물 화학증착법에 의한 평탄화 금속 배선 개발에 관한 연구 | ko |
| dc.title.alternative | A Study on the development of planarized metalization by metalorganic chemical vapor deposition of aluminum thin films | ko |
| dc.type | Thesis | - |
| dc.contributor.department | 금속공학과 | - |
| dc.description.degree | Doctor | ko |
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