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압전 PZT Cantilever 제작을 위한 박막증착 및 식각공정에 관한 연구
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 주승기 | - |
| dc.contributor.author | 이유진 | - |
| dc.date.accessioned | 2010-02-08T07:37:13Z | - |
| dc.date.available | 2010-02-08T07:37:13Z | - |
| dc.date.copyright | 1997. | - |
| dc.date.issued | 1997 | - |
| dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000078596 | kog |
| dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/51932 | - |
| dc.description | 학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :금속공학과,1997. | ko |
| dc.format.extent | ii, 40 장 | ko |
| dc.language.iso | ko | ko |
| dc.publisher | 서울대학교 대학원 | ko |
| dc.title | 압전 PZT Cantilever 제작을 위한 박막증착 및 식각공정에 관한 연구 | ko |
| dc.type | Thesis | - |
| dc.contributor.department | 금속공학과 | - |
| dc.description.degree | Master | ko |
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