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플라즈마 화학기상증착법에 의한 저유전율 SiOxFy 박막의 증착 및 물성의 안정화
DC Field | Value | Language |
---|---|---|
dc.contributor.advisor | 김형준 | - |
dc.contributor.author | 김윤해 | - |
dc.date.accessioned | 2010-02-08T07:41:39Z | - |
dc.date.available | 2010-02-08T07:41:39Z | - |
dc.date.copyright | 1998. | - |
dc.date.issued | 1998 | - |
dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000075709 | kog |
dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/52022 | - |
dc.description | 학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :무기재료공학과,1998. | ko |
dc.format.extent | x, 81 장 | ko |
dc.language.iso | ko | ko |
dc.publisher | 서울대학교 대학원 | ko |
dc.title | 플라즈마 화학기상증착법에 의한 저유전율 SiOxFy 박막의 증착 및 물성의 안정화 | ko |
dc.type | Thesis | - |
dc.contributor.department | 무기재료공학과 | - |
dc.description.degree | Master | ko |
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