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고집적 메모리 소자의 캐패시티 전극용 백금 박막의 반응성 이온 식각 기술
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- Authors
- Advisor
- 김형준
- Issue Date
- 1998
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Description
- 학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :무기재료공학과,1998.
- Language
- Korean
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000075706
https://hdl.handle.net/10371/52025
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