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초고진공 전자 공명 화학기상증착법에 의한 LOCOS 형성된 기판에 저온 실리콘 에피막 성장에 관한 연구
DC Field | Value | Language |
---|---|---|
dc.contributor.advisor | 윤의준 | - |
dc.contributor.author | 여환국 | - |
dc.date.accessioned | 2010-02-08T07:42:28Z | - |
dc.date.available | 2010-02-08T07:42:28Z | - |
dc.date.copyright | 1997. | - |
dc.date.issued | 1997 | - |
dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000078848 | kog |
dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/52039 | - |
dc.description | 학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :무기재료공학과,1997. | ko |
dc.format.extent | vi, 47 장 | ko |
dc.language.iso | ko | ko |
dc.publisher | 서울대학교 대학원 | ko |
dc.title | 초고진공 전자 공명 화학기상증착법에 의한 LOCOS 형성된 기판에 저온 실리콘 에피막 성장에 관한 연구 | ko |
dc.type | Thesis | - |
dc.contributor.department | 무기재료공학과 | - |
dc.description.degree | Master | ko |
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