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아르곤산소 혼합기체를 이용한 DC 마그네트론 스퍼터링으로 증착된 백금박막에 미치는 산소의 영향
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- Authors
- Advisor
- 윤의준
- Issue Date
- 1997
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Description
- 학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :무기재료공학과,1997.
- Language
- Korean
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000078838
https://hdl.handle.net/10371/52044
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