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화학증착법에 의한 초고집적 소자 배선용 알루미늄 박막 형성에 있어서 플라즈마 효과
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 주승기 | - |
| dc.contributor.author | 김동찬 | - |
| dc.date.accessioned | 2010-02-08T07:52:57Z | - |
| dc.date.available | 2010-02-08T07:52:57Z | - |
| dc.date.copyright | 1996. | - |
| dc.date.issued | 1996 | - |
| dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000080838 | kog |
| dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/52254 | - |
| dc.description | 학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :금속공학과 재료공학전공,1996. | ko |
| dc.format.extent | ii, 34 장 | ko |
| dc.language.iso | ko | ko |
| dc.publisher | 서울대학교 대학원 | ko |
| dc.title | 화학증착법에 의한 초고집적 소자 배선용 알루미늄 박막 형성에 있어서 플라즈마 효과 | ko |
| dc.type | Thesis | - |
| dc.contributor.department | 금속공학과 재료공학전공 | - |
| dc.description.degree | Master | ko |
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