Browse

구리의 저온 플라즈마 식각을 위한 CuClx의 성장기구에 대한 연구

DC Field Value Language
dc.contributor.advisor김기범-
dc.contributor.author김유창-
dc.date.accessioned2010-02-08T07:53:35Z-
dc.date.available2010-02-08T07:53:35Z-
dc.date.copyright1995.-
dc.date.issued1995-
dc.identifier.urihttp://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000083578kog
dc.identifier.urihttps://hdl.handle.net/10371/52267-
dc.description학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :금속공학과 재료공학전공,1995.ko
dc.format.extentvi, 63 장ko
dc.language.isokoko
dc.publisher서울대학교 대학원ko
dc.title구리의 저온 플라즈마 식각을 위한 CuClx의 성장기구에 대한 연구ko
dc.typeThesis-
dc.contributor.department금속공학과 재료공학전공-
dc.description.degreeMasterko
Appears in Collections:
College of Engineering/Engineering Practice School (공과대학/대학원)Dept. of Materials Science and Engineering (재료공학부)Theses (Master's Degree_재료공학부)
Files in This Item:
There are no files associated with this item.
  • mendeley

Items in S-Space are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.

Browse