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알루미늄계 박막배선의 electromigration 유도 미세파손 수명에 미차는 열응력 효과 분석

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dc.contributor.advisor권동일-
dc.contributor.author이세호-
dc.date.accessioned2010-02-08T07:54:32Z-
dc.date.available2010-02-08T07:54:32Z-
dc.date.copyright1998.-
dc.date.issued1998-
dc.identifier.urihttp://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000075524kog
dc.identifier.urihttps://hdl.handle.net/10371/52287-
dc.description학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :금속공학과,1998.ko
dc.format.extent54 장ko
dc.language.isokoko
dc.publisher서울대학교 대학원ko
dc.title알루미늄계 박막배선의 electromigration 유도 미세파손 수명에 미차는 열응력 효과 분석ko
dc.typeThesis-
dc.contributor.department금속공학과-
dc.description.degreeMasterko
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