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플라즈마 화학 증착법에 의해 제조된 (Ti₁-xAlx)N 박막의 미세조직 및 기계적 특성에 관한 연구
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 이정중 | - |
| dc.contributor.author | 이동각 | - |
| dc.date.accessioned | 2010-02-08T07:54:35Z | - |
| dc.date.available | 2010-02-08T07:54:35Z | - |
| dc.date.copyright | 1998. | - |
| dc.date.issued | 1998 | - |
| dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000075523 | kog |
| dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/52288 | - |
| dc.description | 학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :금속공학과,1998. | ko |
| dc.format.extent | iii, 47 장 | ko |
| dc.language.iso | ko | ko |
| dc.publisher | 서울대학교 대학원 | ko |
| dc.title | 플라즈마 화학 증착법에 의해 제조된 (Ti₁-xAlx)N 박막의 미세조직 및 기계적 특성에 관한 연구 | ko |
| dc.type | Thesis | - |
| dc.contributor.department | 금속공학과 | - |
| dc.description.degree | Master | ko |
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