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건식법에 의한 실리콘 표면의 세정에 관한 연구
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 문상흡 | - |
| dc.contributor.author | 김창구 | - |
| dc.date.accessioned | 2010-03-09T07:15:09Z | - |
| dc.date.available | 2010-03-09T07:15:09Z | - |
| dc.date.copyright | 1995. | - |
| dc.date.issued | 1995 | - |
| dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000084420 | kog |
| dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/59044 | - |
| dc.description | 학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :화학공학과,1995. | ko |
| dc.format.extent | ix, 69장 | ko |
| dc.language.iso | ko | ko |
| dc.publisher | 서울대학교 대학원 | ko |
| dc.title | 건식법에 의한 실리콘 표면의 세정에 관한 연구 | ko |
| dc.type | Thesis | - |
| dc.contributor.department | 화학공학과 | - |
| dc.description.degree | Master | ko |
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