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Synthesis and characterization of bridged silsesquioxane and photo-patternable organosilicate polymers : 가교형 실세스퀴옥산 및 포토 패턴이 가능한 유기실리케이트 폴리머의 합성 및 특성에 관한 연구
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- Authors
- Advisor
- 윤도영
- Issue Date
- 2009
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- 알킬렌으로 연결된 실세스퀴옥산 ; alkylene-bridged silsesquioxane ; MALDI-TOF MS ; MALDI-TOF MS ; PMSQ ; PMSQ ; 포토레지스트 ; photoresist ; 파지티브 톤 ; positive-tone ; 유기실리케이트 ; photo-patternable ; organosilicate
- Description
- Thesis(masters) --서울대학교 대학원 :화학부 (고분자화학전공),2009.2.
- Language
- English
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000036624
https://hdl.handle.net/10371/60934
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