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중성 영역 구리 화학적 기계적 평탄화 공정에서의 선형 착물형성제의 특성 및 구연산과 ATRA 기반의 세정액 연구 : Study on the characteristics of linear complexing agents for Cu CMP in neutral environment and cleaning solution based on citric acid and ATRA
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- Authors
- Advisor
- 김재정
- Issue Date
- 2010
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- 중성 영역 구리 CMP ; Neutral condition Cu CMP ; 착물형성제 ; complexing agent ; 작용기 ; functional group ; 세정액 ; cleaning solution ; 부식억제제 ; corrosion inhibitor
- Description
- 학위논문(석사) --서울대학교 대학원 :화학생물공학부,2010.2.
- Language
- Korean
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000033565
https://hdl.handle.net/10371/64663
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