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열 필라멘트 화학기상증착을 통한 다결정 실리콘 박막의 증착에서 바이어스와 압력이 증착거동에 미치는 영향 : Effect of electric bias and pressure on the deposition behavior of microcrystalline films by hot-wire chemical vapor deposition
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 황농문 | - |
| dc.contributor.author | 임종성 | - |
| dc.date.accessioned | 2010-05-10T03:42:35Z | - |
| dc.date.available | 2010-05-10T03:42:35Z | - |
| dc.date.copyright | 2010 | - |
| dc.date.issued | 2010 | - |
| dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000033309 | kog |
| dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/64788 | - |
| dc.description | 학위논문(석사) --서울대학교 대학원 :재료공학부,2010.2. | ko |
| dc.format.extent | 62장 | ko |
| dc.language.iso | ko | ko |
| dc.publisher | 서울대학교 대학원 | ko |
| dc.subject | 다결정 실리콘 박막 | ko |
| dc.subject | Poly-Si | ko |
| dc.subject | 하전된 나노 입자 이론 | ko |
| dc.subject | Theory of charged cluster | ko |
| dc.subject | 열 필라멘트 화학 기상 증착 | ko |
| dc.subject | Hot wire chemical vapor deposition | ko |
| dc.subject | 실리콘 나노 클러스터 | ko |
| dc.subject | Silicon nano particles | ko |
| dc.title | 열 필라멘트 화학기상증착을 통한 다결정 실리콘 박막의 증착에서 바이어스와 압력이 증착거동에 미치는 영향 | ko |
| dc.title.alternative | Effect of electric bias and pressure on the deposition behavior of microcrystalline films by hot-wire chemical vapor deposition | ko |
| dc.type | Thesis | - |
| dc.contributor.department | 재료공학부 | - |
| dc.description.degree | Master | ko |
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