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유기 금속 화학 증착법을 이용한 Hf 기반 유전박막 증착과 특성향상 및 계면과 막내 질소 함유 영향에 관한 연구
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- Authors
- Advisor
- 황철성
- Issue Date
- 2006
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- HfO2 ; Hf-silicate ; gate oxide ; CVD
- Description
- 학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :재료공학부,2006.
- Language
- Korean
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000047520
https://hdl.handle.net/10371/14839
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