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A Study on the improvement of grain microstructure and device characteristics of polycrystalline silicon thin film transistor employing excimer laser annealing : 多結晶 실리콘 薄膜 素子의 그레인 微細 構造 및 特性 向上을 위한 엑시머 레이저 어닐링 方法에 關한 硏究
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- Authors
- Advisor
- 한민구
- Issue Date
- 2002
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- polycrystalline silicon thin film transistor (poly-Si TFT) ; 다결정 실리콘 박막 트랜지스터 ; excimer laser annealing (ELA) ; 엑시머 레이저 어닐링 ; grain microstructure ; 그레인 미세 구조 ; field effect mobility ; 전계 효과 이동도 ; laser doping ; 도핑
- Description
- Thesis (doctoral)--서울대학교 대학원 :전기·컴퓨터공학부,2002.
- Language
- English
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000061144
https://hdl.handle.net/10371/30710
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