Publications
Detailed Information
Characterization of the Plasma Electrode Biasing Effects at Transformer Coupled Plasma H- Ion Source : 평판형 유도 결합 플라즈마를 이용한 수소 음이온원에서의 플라즈마 전극 바이어스 효과에 대한 연구
Cited 0 time in
Web of Science
Cited 0 time in Scopus
- Authors
- Advisor
- 황용석
- Issue Date
- 2009
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- 음이온원 ; Negative Ion ; 고주파 플라즈마 ; Plasma Electrode ; 고주파 이온원 ; Volume Production ; 바이어스 효과 ; Surface Production ; 플라즈마 전극 ; Optimal Bias ; 최적 바이어스 전압 ; Probe Diagnostics ; 체적 생성법 ; RF plasma ; 표면 생성법 ; RF ion source ; 탐침 진단
- Description
- Thesis(masters) --서울대학교 대학원 :에너지시스템공학부, 2009.2.
- Language
- English
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000037196
https://hdl.handle.net/10371/43598
- Files in This Item:
- There are no files associated with this item.
Item View & Download Count
Items in S-Space are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.