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Asymmetric MOSFETs Using Novel Fabrication Method : 새로운 공정 방법을 이용한 비대칭 MOSFET
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- Authors
- Advisor
- 박병국
- Issue Date
- 2010
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- 비대칭 전계효과 트랜지스터 ; asymmetric MOSFET ; 저농도로 도핑된 드레인 ; lightly doped drain-source (LDD) ; 자기정렬 ; self-alignment ; 측벽 게이트 ; sidewall spacer gate ; 메사 형태의 비대칭 전계효과 트랜지스터 ; mesa-shaped asymmetric nMOSFETs ; 평면의 비대칭 전계효과 트랜지스터 ; planar asymmetric devices
- Description
- Thesis(doctors) --서울대학교 대학원 :전기. 컴퓨터공학부,2010.2.
- Language
- English
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000032544
https://hdl.handle.net/10371/63981
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