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Nanoporous organosilicate thin films prepared with adamantane grafted porogens : 그래프트화된 아다만탄 기공형성제로 제조된 나노기공을 함유한 유기실리케이트 박막에 관한 연구
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- Authors
- Advisor
- 차국헌
- Issue Date
- 2005
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- 유기실리케이트 ; organosilicate ; 저유전물질 ; low-k ; 나노기공 박막 ; nanoporous thin film ; 아다만탄 ; adamantane ; 그래프트화된 기공형성수지 ; grafted porogen ; 혼합된 기공형성수지 ; blended porogen ; 이중 기공형성수지 ; dual porogen ; 테트로닉 ; Tetronic
- Description
- Thesis(master`s)--서울대학교 대학원 :응용화학부,2005.
- Language
- English
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000051235
https://hdl.handle.net/10371/66354
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