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Sheath dynamics and plasma recovery in plasma source ion implantation : 플라즈마 원 이온 주입 기술에서 쉬스 동역학 및 플라즈마의 회복에 관한 연구
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- Authors
- Advisor
- 황용석
- Issue Date
- 2007
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- 플라즈마 원 이온 주입 ; Plasma source ion implantation (PSII) ; 희박파 ; Rarefaction wave ; 동적 플라즈마 쉬스 ; Dynamic plasma sheath ; 플라즈마 회복 ; Plasma recovery ; 자체 일관적인 회로 모델 ; Self-consistent circuit model ; 고 반복률 ; High repetition-rate
- Description
- Thesis(doctor`s)--서울대학교 대학원 :원자핵공학과,2007.
- Language
- English
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000045061
https://hdl.handle.net/10371/12219
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