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(A)Study on the mixed metal catalyst for MILC and MILC poly-Si TFTs : 금속유도측면결정화 및 TFT 특성 향상을 위한 혼합 금속 촉매에 대한 연구
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- Authors
- Advisor
- 주승기
- Issue Date
- 2004
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- 다결정 실리콘 ; Polycrystalline silicon ; 금속 유도 측면 결정화 (MILC) ; Metal-induced lateral crystallization (milc) ; 혼합 금속 ; Catalyst ; 수소 ; Mixed metal ; 비정질 실리콘 ; Hydrogen ; 박막 트랜지스터 ; Pecvd a-si:h ; 촉매 반응 ; Thin film transistor (tft)
- Description
- Thesis (doctoral)--서울대학교 대학원 :재료공학부,2004.
- Language
- English
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000053919
https://hdl.handle.net/10371/12787
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