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파라데이 상자를 이용한 다양한 각도의 플라즈마 식각
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- Authors
- Advisor
- 문상흡
- Issue Date
- 2008
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- 다양한 각도의 플라즈마 식각 ; multi-directional plasma etching ; 파라데이 상자 ; faraday cage ; gas chopping process ; gas chopping process
- Description
- 학위논문(석사) --서울대학교 대학원 :화학생물공학부,2008.2.
- Language
- Korean
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000039714
https://hdl.handle.net/10371/13170
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