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미세 소자 배선 형성용 구리 전해 도금 시 단차 평탄화 공정을 위한 BTA의 작용 연구
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- Authors
- Advisor
- 김재정
- Issue Date
- 2006
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- 구리 ; copper ; 전해 도금 ; electrodeposition ; 단차 ; surface topographic variation ; 평탄제 ; leveler ; 평탄화 공정 ; leveling ; 과전착 ; overdeposition ; 유기 첨가제 ; organic additive ; BTA (benzotriazole) ; BTA (benzotriazole)
- Description
- 학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :화학생물공학부,2006.
- Language
- Korean
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000047893
https://hdl.handle.net/10371/13433
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