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은 무전해 도금에서 주석 민감화와 팔라듐 활성화를 이용한 표면 전처리 방법 연구
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 김재정 | - |
| dc.contributor.author | 김서영 | - |
| dc.date.accessioned | 2009-11-18T08:02:51Z | - |
| dc.date.available | 2009-11-18T08:02:51Z | - |
| dc.date.copyright | 2006. | - |
| dc.date.issued | 2006 | - |
| dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000047856 | kor |
| dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/13451 | - |
| dc.description | 학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :화학생물공학부,2006. | kor |
| dc.format.extent | ix, 73 장 | kor |
| dc.language.iso | ko | kor |
| dc.publisher | 서울대학교 대학원 | kor |
| dc.subject | 반도체 | kor |
| dc.subject | semiconductor | kor |
| dc.subject | 금속 배선 | kor |
| dc.subject | metal interconnection | kor |
| dc.subject | 은 | kor |
| dc.subject | Ag | kor |
| dc.subject | 무전해 도금 | kor |
| dc.subject | electroless plating | kor |
| dc.subject | 주석 | kor |
| dc.subject | Sn | kor |
| dc.subject | 팔라듐 | kor |
| dc.subject | Pd | kor |
| dc.subject | 전처리 방법 | kor |
| dc.subject | pretreatment | kor |
| dc.subject | 씨앗층 | kor |
| dc.subject | seed layer | kor |
| dc.title | 은 무전해 도금에서 주석 민감화와 팔라듐 활성화를 이용한 표면 전처리 방법 연구 | kor |
| dc.type | Thesis | - |
| dc.contributor.department | 화학생물공학부 | - |
| dc.description.degree | Master | kor |
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