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은 무전해 도금에서 주석 민감화와 팔라듐 활성화를 이용한 표면 전처리 방법 연구
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- Authors
- Advisor
- 김재정
- Issue Date
- 2006
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- 반도체 ; semiconductor ; 금속 배선 ; metal interconnection ; 은 ; Ag ; 무전해 도금 ; electroless plating ; 주석 ; Sn ; 팔라듐 ; Pd ; 전처리 방법 ; pretreatment ; 씨앗층 ; seed layer
- Description
- 학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :화학생물공학부,2006.
- Language
- Korean
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000047856
https://hdl.handle.net/10371/13451
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