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고집적 반도체 배선용 Cu(Mg) 박막의 전기적, 기계적 특성 평가
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 주영창 | - |
| dc.contributor.author | 안재수 | - |
| dc.date.accessioned | 2009-11-24T23:21:59Z | - |
| dc.date.available | 2009-11-24T23:21:59Z | - |
| dc.date.copyright | 2003. | - |
| dc.date.issued | 2003 | - |
| dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000057851 | kor |
| dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/14682 | - |
| dc.description | 학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :재료공학부,2003. | kor |
| dc.format.extent | ix, 75 장 | kor |
| dc.language.iso | ko | - |
| dc.publisher | 서울대학교 대학원 | kor |
| dc.subject | 합금구리 배선 | kor |
| dc.subject | Cu alloy | kor |
| dc.subject | Cu(Mg) | kor |
| dc.subject | Cu(Mg) | kor |
| dc.subject | 전기적 특성 | kor |
| dc.subject | Cu diffusion | kor |
| dc.subject | 기계적 특성 | kor |
| dc.subject | Mechanical property | kor |
| dc.subject | 구리확산 | kor |
| dc.subject | Electrical property | kor |
| dc.title | 고집적 반도체 배선용 Cu(Mg) 박막의 전기적, 기계적 특성 평가 | kor |
| dc.type | Thesis | - |
| dc.contributor.department | 재료공학부 | - |
| dc.description.degree | Master | kor |
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