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마이크로 인장시험법을 이용한 MEMS용 소재의 기계적 거동해석
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- Authors
- Advisor
- 권동일
- Issue Date
- 2003
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- 멤스 ; MEMS ; 마이크로 인장시험법 ; Microtensile test ; 단결정 실리콘 ; Single-crystal silicon ; 알루미늄 ; Al film ; 파괴강도 ; Fracture strength ; 항복강도 ; Yield strength ; 유동곡선 ; Flow curve
- Description
- 학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :재료공학부,2003.
- Language
- Korean
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000057189
https://hdl.handle.net/10371/14696
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