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PE-ALD로 증착한 SnO2 박막의 결정학적 배향성에 따른 수소와 일산화탄소 가스 감응 특성
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- Authors
- Advisor
- 홍성현
- Issue Date
- 2008
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- 가스 센서 ; gas sensor ; SnO2 박막 ; SnO2 thin film ; PE-ALD ; PE-ALD ; 결정 배향성 ; orientation ; 사파이어 기판 ; sapphire substrate ; epitaxy ; TEM ; pole figure ; XPS
- Description
- 학위논문(석사) --서울대학교 대학원 :재료공학부,2008.8.
- Language
- Korean
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000042149
https://hdl.handle.net/10371/14826
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