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열 필라멘트 법을 이용한 실리콘 화학 기상 증착 공정 중에 발생하는 전하를 띈 실리콘 나노입자 : Generation of Charged Silicon Nanoparticles during Hot Wire Chemical Vapor Deposition
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- Authors
- Advisor
- 황농문
- Issue Date
- 2007
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- 다결정 실리콘 ; Polycrystalline silicon ; 전하를 띈 클러스터 이론 ; The theory of charged clusters ; Hot wire CVD ; Hot wire CVD ; 실리콘 나노입자 ; Silicon nanopartilce ; 양의 전하를 띈 실리콘 나노입자 ; Positively charged silicon nanoparticle ; 음의 전하를 띈 실리콘 나노입자 ; Negatively charged silicon nanoparticle ; 중성의 실리콘 나노입자 ; neutral silicon nanopartilce
- Description
- 학위논문(석사) --서울대학교 대학원 :재료공학부,2007.
- Language
- Korean
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000043696
https://hdl.handle.net/10371/14844
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